Zasady motorycznego-ruchu kołowego i różnicy ciśnień
Napęd silnikowy: Ciche pompy próżniowe są zwykle napędzane silnikiem elektrycznym. Ruch kołowy silnika jest przekształcany-za pomocą połączeń mechanicznych-w zespół pompy na ruch posuwisto-zwrotny lub obrotowy.
Wytwarzanie różnicy ciśnień: Napędzane silnikiem wewnętrzne elementy mechaniczne pompy (takie jak tłoki, łopatki obrotowe, membrany itp.) sprężają i rozprężają powietrze w komorze pompy, tworząc w ten sposób stan próżni (podciśnienia). Ten stan próżni ustala różnicę ciśnień w stosunku do zewnętrznego ciśnienia atmosferycznego.
Dolot i wydech gazu
Pobór gazu: Napędzany różnicą ciśnień, zewnętrzny gaz jest zasysany do komory pompy przez otwór wlotowy. W przypadku cichych pomp próżniowych króciec wlotowy może być wyposażony w urządzenie filtrujące, które usuwa zanieczyszczenia z dopływającego gazu, jednocześnie ograniczając generowanie hałasu.
Sprężanie gazu i wydech: Gaz zasysany do komory pompy jest sprężany przez wewnętrzne elementy mechaniczne, a następnie wydalany przez otwór wylotowy. Podczas procesu wydechowego można również zastosować środki-redukujące hałas-takie jak użycie tłumików-w celu dalszej minimalizacji poziomu hałasu.
Specjalna konstrukcja zapewniająca cichą pracę
Konstrukcja-bezolejowa: wiele cichych pomp próżniowych ma konstrukcję-bezolejową, co oznacza, że w komorze pompy nie jest stosowany żaden olej smarujący ani płyn uszczelniający. Taka konstrukcja nie tylko zapobiega zanieczyszczeniu gazu procesowego smarami, ale także eliminuje hałas typowo związany z przepływem płynów smarujących.
Wybór materiału: krytyczne wewnętrzne elementy pompy (takie jak łopatki obrotowe, tłoki itp.) są zwykle wykonane z materiałów o niskim-dźwięku, aby zminimalizować hałas generowany przez tarcie i wibracje.
Optymalizacja strukturalna: Wewnętrzna konstrukcja pompy jest zoptymalizowana pod kątem ograniczenia turbulencji i prądów wirowych podczas przepływu gazu przez system, skutecznie obniżając w ten sposób ogólne wytwarzanie hałasu.